G300C質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

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流量控制器

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產(chǎn)品描述

G300C質(zhì)量流量控制器

使用說明

技術(shù)特點(diǎn)

l 高精度、高分辨率控制

l 低功率，功率＜2W

l 集成20種基礎(chǔ)氣體種類

l 可自定義10種混合氣體

l 控制參數(shù)自整定功能

l 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

l 寬流量量程范圍

l 無需預(yù)熱

l 無安裝方向限制

l 具有高重復(fù)性和高可靠性

l 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快

l 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍0-50℃

l 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

l 小封裝尺寸

技術(shù)指標(biāo)

電氣參數(shù)
工作電壓	DC 24V±10% / DC12V±10% （根據(jù)具體型號確定）
功率	＜2W
數(shù)字控制信號	RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作
模擬控制信號	0-5V
電信號接口	DB9×1/RJ45×2

物理參數(shù)
閥門	比例閥（常閉）
通過介質(zhì)	非腐蝕性氣體
工作溫度	-10-50℃
傳感器溫度補(bǔ)償范圍	0-50℃
工作濕度	0-100%（非冷凝）
存儲溫度	-40~85℃
泄漏率	＜0.020sccm He (壓差150psi)