GT-180質量流量控制器
使 用 說 明
技術特點
微處理器控制
MFC內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速精確的流量控制。
RS-485總線接口
MFC內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式?？赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng)，實現(xiàn)多臺MFC同時控制。
便捷標定方法
可通過專用標定軟件對MFC進行標定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。
緊湊的外形尺寸
MFC尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。
多氣體多量程選擇
MFC可選擇多種氣體種類（H2、N2、Air、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時，本公司提供不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進行選。
技術指標
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項目 |
參數(shù)信息 |
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最大量程 |
50sccm~20slpm(可定制) |
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精度 |
±1%F.S. |
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線性 |
±1%F.S. |
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重復精度 |
±0.2%F.S. |
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氣體類型 |
H2/He/N2/Air/Ar（可定制）） |
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響應時間 |
1s |
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壓差范圍 |
<1MPa |
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工作溫度 |
0~50℃ |
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工作濕度 |
0~95%R.H.（非冷凝） |
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工作電壓 |
24V±10%/12V±10% |
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信號接口 |
RS-485（Modbus），模擬電壓信號 |
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氣路材質 |
不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
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氣路接口 |
1/16 |
|
尺寸 |
50×24×55mm |
工作原理
氣體通過質量流量傳感器，控制電路通過模數(shù)轉換器讀取質量流量傳感器采集信號?？刂齐娐犯鶕?jù)傳感器讀取值與控制信號設定值通過相關算法調節(jié)比例閥，從而精準控制氣體輸出流量。
接線定義
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點號 |
線色 |
線號定義 |
參數(shù) |
|
1 |
白橙 |
GND |
電源地 |
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2 |
橙色 |
VCC |
電源DC+12V/+24V |
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3 |
白綠 |
RS485B |
數(shù)字信號RS485B/- |
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4 |
藍色 |
RS485A |
數(shù)字信號RS485A/+ |
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5 |
白藍 |
GND |
模擬信號參考地 |
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6 |
綠色 |
SET |
模擬信號設定（0.5-4.5V） |
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7 |
白棕 |
I/O |
數(shù)字信號選擇（懸空或DC3.3V） 模擬信號選擇（與5管腳連接） |
|
8 |
棕色 |
OUTPUT |
模擬信號輸出（0.5-4.5V） |
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注：模擬信號與數(shù)字信號切換，需斷電操作。 |
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選型參考
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