搜索





全部分類



1/1

瀏覽量:

1000

G300流量計

G300系列質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C系列采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴(kuò)展至255臺設(shè)備同時使用。

零售價

0.0

元

市場價

0.0

元

瀏覽量:

1000

產(chǎn)品編號

所屬分類

產(chǎn)品中心

流量控制器

數(shù)量

-

+

庫存:

0



1

產(chǎn)品描述

G300流量計

使用說明

技術(shù)特點(diǎn)

高精度、高分辨率控制

低功率，功率＜2W

集成20種基礎(chǔ)氣體種類

可自定義10種混合氣體

控制參數(shù)自整定功能

數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

寬流量量程范圍

無需預(yù)熱

無安裝方向限制

具有高重復(fù)性和高可靠性

采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快

自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍0-50℃

內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

小封裝尺寸

精度簡介

可用量程：最大0-50slpm 最小0-1sccm

（常備量程請參考選型表）

量程比：1000:1

滿量程精度：±0.2%

讀取精度：±0.8%

可重復(fù)性：±0.2%FS

響應(yīng)時間：＜100ms（調(diào)節(jié)PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時間）

應(yīng)用領(lǐng)域

氣相和液相色譜儀

半導(dǎo)體工藝

環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）

氣體發(fā)生器

配氣混氣系統(tǒng)

功能介紹

功能	說明
流量控制	可實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。
累計流量	可通過Modbus-RTU協(xié)議讀取累計流量。
獨(dú)立使用	無需連接任何設(shè)備，可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。
多種量程選擇	最小量程1sccm，最大量程50slpm。
內(nèi)置20種基本氣體	內(nèi)置20種基本氣體，氣體種類可定制。
10種自定義混合氣	可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。
多電氣接口	標(biāo)準(zhǔn)配置1個DC插座，2個RJ45接口，1個DB9接口。
模擬控制	0-5V模擬控制信號輸入輸出。
數(shù)字控制	按鍵控制或使用RS-485通信控制。
標(biāo)準(zhǔn)Modbus-RTU	RS-485通信采用標(biāo)準(zhǔn)Modbus-RTU通信協(xié)議。
參數(shù)自整定	控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實(shí)現(xiàn)自動調(diào)整到最佳PID控制參數(shù)。
設(shè)定值記憶功能	開啟該功能后，MFC可記錄斷電前最后一次設(shè)定值，再次通電直接執(zhí)行該設(shè)定值。
閥控功能	可實(shí)現(xiàn)閥全開、閥全關(guān)、閥自動閉環(huán)控制功能。
多臺設(shè)備串聯(lián)	通過更改通信地址，最大可實(shí)現(xiàn)255臺設(shè)備串聯(lián)控制。
自定義波特率	可通過Modbus-RTU設(shè)置自定義波特率。

PS：通信協(xié)議兼容原型號（GT130D/GT180）設(shè)定流量和讀取流量。

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)行參數(shù)
讀數(shù)精度	±0.8% Rdg
滿量程精度	±0.2% FS
重復(fù)性	＜±0.2% FS
零點(diǎn)漂移和滿量程漂移	＜±0.02% FS/℃/Atm
工作范圍	0.5%-100% FS
量程比	1000:1
啟動預(yù)熱時間	＜1秒
標(biāo)準(zhǔn)工況	20℃&101.325kPa（標(biāo)準(zhǔn)工況溫度可通過RS485調(diào)整）
耐壓	1 MPa
安裝方向要求	無

電氣參數(shù)
工作電壓	DC 24V±10% / DC12V±10% （根據(jù)具體型號確定）
功率	＜2W
數(shù)字控制信號	RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作
模擬控制信號	0-5V
電信號接口	DB9×1/RJ45×2

物理參數(shù)
閥門	比例閥（常閉）
通過介質(zhì)	非腐蝕性氣體
工作溫度	-10-50℃
傳感器溫度補(bǔ)償范圍	0-50℃
工作濕度	0-100%（非冷凝）
存儲溫度	-40~85℃
泄漏率	＜0.020sccm He (壓差150psi)

各量程參數(shù)
流量計量程	機(jī)械尺寸（長×寬×高 mm）	氣路連接接口
量程1sccm至100sccm	53×28×85.5	M5
量程500sccm至10slpm	60.3×28×88	G1/8
量程20slpm	60.3×28×96	G1/8