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G100C質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品描述
G100C質(zhì)量流量控制器
使 用 說(shuō) 明
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度、高分辨率控制
DC 9-36V寬電壓供電
低功率，功率＜2W
集成40種基礎(chǔ)氣體種類(lèi)
可自定義10種混合氣體
控制參數(shù)自整定功能
數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式
寬流量量程范圍
無(wú)需預(yù)熱
無(wú)安裝方向限制
具有高重復(fù)性和高可靠性
采用電磁比例閥，使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快
自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍0-50℃
內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
小封裝尺寸
應(yīng)用領(lǐng)域
氣相和液相色譜儀
半導(dǎo)體工藝
環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備
微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）
氣體發(fā)生器
配氣混氣系統(tǒng)
控制原理
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GT200電子壓力控制器
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