GT200電子壓力控制器
GT-200氣體壓力控制器
使 用 說 明
產(chǎn)品特點
高精度、高分辨率控制,控制精度0.001psi(0-150psi量程控制精度為0.01psi)
功率低于1.75 W,低電壓直流5V
27×22×25mm(長寬高)超小封裝尺寸
數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式
控制量程范圍-15Psig...150Psig
提供減壓型和背壓型兩種控制器型號
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快
自帶溫度補償
內部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性
應用領域
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環(huán)境監(jiān)測設備(如VOCS等)
微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)
反應器壓力控制
氣體發(fā)生器
氣體流量控制
控制原理
GT200減壓型壓力控制器
GT201背壓型壓力控制器
GT202外部取壓型壓力控制器GT203過程控制型(泄壓型)壓力控制器
技術參數(shù)
物理參數(shù) |
|
閥門 |
比例閥 |
通過介質 |
非腐蝕性氣體 |
工作溫度 |
-20-85℃ |
溫度補償范圍 |
0-50℃ |
存儲溫度 |
-40~85℃ |
泄漏率 |
<0.020sccm He (壓差150psi) |
重量 |
42g |
長×寬×高 |
27×22×25mm |
電氣參數(shù) |
|
工作電壓 |
DC 5V±10% |
最大工作電流 |
<350mA |
功率 |
<1.75W |
數(shù)字控制信號 |
RS-485 MODBUS RTU |
運行參數(shù) |
|
壓力范圍 |
-1~1psig / -15~15 psig / 0~60 psig / 0~150 psig |
壓力精度 |
<±0.25% FS |
重復性 |
<±0.25% FS |
控制精度 |
0.001psi(150psi量程控制精度0.01psi) |
響應時間 |
<100ms(取決于入口壓力) |
耐壓 |
150psid |
PS:psig表示表壓,性對環(huán)境氣壓壓力;psid表示差壓,設備進口與出口壓力差。
選型參考
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