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流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣象色譜儀以及其他分析儀器。

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